مقایسۀ دو روش برهم کنش هسته ای و پراکندگی تشدیدی برای اندازه‏گیری نمایۀ عمقی اکسیژن در آلومینای نانو متخلخل

شناسایی و تعییین نمایۀ عمقی اکسیژن در سطح مواد، لایه های نازک و به ویژه در کاربردهای صنعتی که با طیف گسترده ای از اکسیدها استفاده می شود، بسیار ضروری است. در این بررسی، از دو روش آنالیز با باریکۀ یونی (iba)، یعنی پراکندگی الاستیک تشدیدی (res) برای اکسیژن (16o(α, α)16o) و واکنش هسته ای (16o(d, p1)17o و 16o(d, p0)17o)، برای به دست آوردن نمایۀ عمقی غلظت اکسیژن در آلومینای آندی نانوحفره استفاده شد. با استفاده از نرم افزار های موجود، طیف های حاصل از آزمایش شبیه سازی شدند و مشخص شد که حداکثر عمق اندازه گیری اکسیژن به دست آمده از روشres ، اگرچه کمتر از واکنش هسته ای (d,p) است، دقت این روش بسیار بالاتر است. این حساسیت بالا به دلیل قله تیز سطح مقطع تشدیدی است که باعث تفکیک پذیری عمقی خیلی خوب می شود و برای آنالیزهای دقیق، از اهمیت بسیار بالایی برخوردار است.